溅射镀膜机

厂家：广东振华科技股份有限公司

品牌：广东振华

型号：SEM3200

主要参数：

1、靶位：4靶位（2个多弧靶位、1个直流靶位、1个射频靶位）

2、腔内尺寸：ф500x600mm

3、工件系统：单轴公自转设计，可正反转选择转向，变频调速。

4、加热系统：热管智能控温，常温-200℃可调。

5、极限真空：8×10-4Pa((空载洁净下)

功能介绍：

该款镀膜设备集磁控溅射与离子镀膜技术为一体，对提高膜层均匀性、沉积速率及化合物成份的稳定性提供了解决方案。通过配备不同的靶材，可镀制出性能更好的复合膜层。所镀制的膜层具有附着力强，致密性高的优点，可满足了高性能膜层制备的需求。

应用示例：

柔性功能薄膜

柔性电路板

ITO导电玻璃